Απαιτήσεις μέτρησης
Σάρωση τρισδιάστατης μορφής της επιφάνειας των ηλεκτρονικών συστατικών και εξαγωγή προφίλ για τη μέτρηση της διαφοράς της επιθυμητής θέσης στην επιφάνειά τους

Επισκόπηση των κύριων χαρακτηριστικών
Μη επαφή μέτρηση, ολοκληρωμένο σχεδιασμό

2. τρισδιάστατη σάρωση μορφής, πολυλειτουργική επεξεργασία δεδομένων
Ακριβής μέτρηση για διάφορα υλικά

4. Εύκολη χρήση, εύκολη αποσυναρμολόγηση

5. γρήγορη ταχύτητα σάρωσης και υψηλή ακρίβεια τοποθέτησης

6. ±0,5 έως ±1μm επαναληπτική ακρίβεια εγγυημένη

Υψηλή σταθερότητα, ισχυρή αντοχή στις παρεμβολές

Αποτελέσματα μέτρησης
Η διαφορά της μετρημένης θέσης είναι περίπου 320μm.

Επίλυση προβλημάτων με τη συσκευή μέτρησης στο παρόν στάδιο

Υπάρχουν ορισμένες απαιτήσεις για το υλικό μέτρησης
2. μέτρηση επαφής, βλάβη στο υλικό μέτρησης
Μικρό εύρος μέτρησης, αβέβαιη θέση, δυσκολία μέτρησης
Αργή ταχύτητα μέτρησης, χαμηλή ακρίβεια και μεγάλο σφάλμα μέτρησης

5. περίπλοκη δομή, υψηλό κόστος