Τεχνολογία τριών ιόντων

Τα μέρη τριών δέσμης ιόντων είναι κάθετα στην πλευρική επιφάνεια του δείγματος, επομένως το δείγμα (στερεωμένο στον πακέτο δείγματος) δεν χρειάζεται να κινηθεί για να μειωθεί το αποτέλεσμα προβολής / αποκλεισμού κατά τη διάρκεια του βομβαρδισμού δέσμης ιόντων, το οποίο εξασφαλίζει την αποτελεσματική θερμική μεταφορά και μειώνει τη θερμική παραμόρφωση του δείγματος κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας.
Τεχνολογία
Η δέσμη τριών ιόντων συναντάται στο μέσο σημείο της άκρης του μπλοκ, σχηματίζοντας μια επιφάνεια βομβαρδισμού 100 °, κοπής προς το δείγμα που εκτίθεται πάνω από το μπλοκ (το επάνω άκρο του δείγματος είναι περίπου 20-100 μm ψηλότερο από το μπλοκ), μέχρι ο βομβαρδισμός να φτάσει στην εσωτερική περιοχή στόχου του δείγματος. Το νέο σχεδιασμένο όπλο ιόντων μπορεί να παράγει ταχύτητα λείανσης δέσμης ιόντων έως και 300 μm/h (Si10 kV, 3,0 mA, ύψος κοπής 50 μm). Το μοναδικό σύστημα τριών ακτίνων ιόντων της Leica προσφέρει εξαιρετική, υψηλής ποιότητας τομή κοπής με υψηλές ταχύτητες, ευρεία και βαθιά επιφάνεια κοπής, γεγονός που εξοικονομεί σημαντικά χρόνο εργασίας. Αυτή η μοναδική τεχνολογία επιτρέπει την απόκτηση υψηλής ποιότητας τομέων κοπής με μεγέθη περιοχής > 4 × 1 mm

Leica EM TIC 3X - Καινοτόμα χαρακτηριστικά σχεδιασμού και λειτουργίας

Υψηλή ροή, αύξηση του κόστους
››Αποκτήστε υψηλής ποιότητας κοπή με μέγεθος περιοχής > 4 × 1mm
››Σχεδιασμός για πολλαπλά δείγματα που μπορούν να φιλοξενήσουν τρία δείγματα ταυτόχρονα
Υψηλή ταχύτητα λείανσης ιόντων, υλικό Si 300μm / h, ύψος κοπής 50μm, ικανοποιεί τις απαιτήσεις υψηλής ροής εργαστηρίου
››Το μεγαλύτερο μέγεθος δείγματος που μπορεί να φιλοξενηθεί είναι 50×50×10mm
››Εύκολη χρήση και υψηλή ακρίβεια
››Εύκολη και ακριβής τοποθέτηση δειγμάτων στο φορτηγό και ρύθμιση της θέσης σε σχέση με το μπροντ
››Απλός χειρισμός μέσω οθόνης αφής χωρίς ειδικές δεξιότητες χειρισμού
››Η διαδικασία επεξεργασίας δειγμάτων παρακολουθείται σε πραγματικό χρόνο και μπορεί να παρατηρηθεί μέσω καθρέφτη ή κάμερας HD-TV
› Φωτισμός LED για εύκολη παρατήρηση δειγμάτων και βαθμονόμηση θέσης
› Ενσωματωμένο, αποσυνδεδεμένο σύστημα αντλίας κενού που παρέχει μια όραση χωρίς δονήσεις
›› Μπορεί να γίνει η ενίσχυση της επένδυσης σε μια προετοιμασμένη επίπεδη τομή κοπής, δηλαδή επεξεργασία χαραγής ακτίνας ιόντων.
››Αποστολή ή λήψη παραμέτρων και προγραμμάτων μέσω USB
››Για σχεδόν οποιοδήποτε δείγμα υλικού
››Η θερμοκρασία του φραγμού και του δείγματος μπορεί να μειωθεί έως –150°C με πάγκο καταψυγμένων δειγμάτων

Πολλαπλά δείγματα

Είναι σχεδόν κατάλληλο για δείγματα όλων των μεγεθών και κατάλληλο για ευρεία χρήση. Με μια βάση δείγματος, η προετοιμασία της μηχανικής προετοιμασίας (Leica EM TXP) μπορεί να ολοκληρωθεί μέχρι την κοπή δέσμης ιόντων (Leica EM TIC 3X), καθώς και ο καθρέφτης SEM, πριν τοποθετηθεί στο κουτί αποθήκευσης δείγματος για επακόλουθη έλεγχο.

Ενίσχυση επένδυσης

Μετά την κοπή δέσμης ιόντων, δεν χρειάζεται να αφαιρεθεί το δείγμα, το ίδιο δείγμα μπορεί επίσης να ενισχύσει το δείγμα με την επένδυση, μπορεί να ενισχύσει την τοπολογία του δείγματος πριν από τις διαφορετικές φάσεις (όπως το κρυστάλλινο όριο)

Υψηλή ακρίβεια

Τώρα, η όλο και μικρότερη λεπτομερής δομή του δείγματος προσελκύει σταδιακά την προσοχή. Και η απόκτηση τμημάτων με την κοπή, όπως η απόκτηση μιας μικρής TSVia τρύπα δομή, έχει γίνει εύκολο. Όλα τα δείγματα έχουν σχεδιαστεί για την ακρίβεια βαθμονόμησης της θέσης του δείγματος ±2 μm. Όχι μόνο η ακρίβεια ελέγχου του τραπέζιου δείγματος μπορεί να επιτύχει μια τέτοια ακριβή βαθμονόμηση τοποθέτησης στόχου, αλλά το σύστημα παρατήρησης μπορεί επίσης να παρατηρήσει λεπτομέρειες δείγματος ελάχιστου μεγέθους περίπου 3 μm για την ακριβή τοποθέτηση στόχου. Για να βοηθήσει στην καλύτερη παρατήρηση του δείγματος κατά την τοποθέτηση, 4 διαχωρισμένες LED κυκλοφοριακές πηγές φωτισμού ή LED coaxial φωτισμός προσφέρουν μεγάλη βοήθεια, βοηθώντας τους χρήστες να αποκτήσουν σαφείς εικόνες από καθρέφτες ή κάμερες HD-TV.
Δεδομένου ότι η αντλία κενού είναι ενσωματωμένη στο εσωτερικό του οργανισμού, δεν χρειάζεται πλέον ξεχωριστός χώρος. Χάρη στο σχέδιο αποσύνδεσης της αντλίας κενού, το πεδίο παρατήρησης δεν διαταράσσεται από τις δονήσεις που παράγονται από την αντλία κενού κατά τη διάρκεια της προετοιμασίας του δείγματος.