- Περιγραφή προϊόντος
Χρωματομετρητής ιόντων ηλίου ανάλυσης τετραχλωροσιλανίουΕφαρμόζεται για την ανίχνευση ίχνων ακαθαρσίας σε αέρια ηλεκτρονικής βιομηχανίας, η μικρή συγκέντρωση ανίχνευσης μπορεί να φτάσει τα 5ppb. Το όργανο είναι εξοπλισμένο με υψηλά ευαίσθητους ανιχνευτές ιονισμού ελίου, χρησιμοποιώντας την κεντρική τεχνολογία κοπής της Huawei, οι βαλβίδες δείγματος είναι εξοπλισμένες με προστατευτικές διαδρομές αέρα για την απορρόφηση. Ολόκληρη η μηχανή έχει σχεδιαστεί με πολλές στήλες και είναι εξοπλισμένη με αυτόματο σύστημα διόρθωσης πίεσης δειγματοληψίας για να εξασφαλίσει την ποσότητα δειγματοληψίας διαφορετικών αερίων. Τα προϊόντα βραβεύτηκαν με τη σειρά τους το έργο A-level μετατροπής των επιτευγμάτων υψηλής τεχνολογίας της πόλης της Σαγκάης.
Πυριτίου (SiHCl)3Περιεκτικότητα (τμήμα όγκου) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Διχλωροσιλανικό (SiH)2Cl2Περιεκτικότητα (τμήμα όγκου) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Διχλωροσιλανικό μεθυλό (SiCl)2CH4Περιεκτικότητα (τμήμα όγκου) / l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
Περιεκτικότητα σε μέταλλα και άλλα στοιχεία | Περιεκτικότητα (Βόριο + Αλουμίνιο) (B + Al) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.1 |
Περιεκτικότητα σε (φωσφόρο + αρσενικό) (P + As) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.3 | |
Περιεκτικότητα σε γαλίο (Ga)/(µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε αντιμόνιο (Sb)/(µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Περιεκτικότητα Ινδίου (In)/(µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε ασβέστιο (Ca)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε χρώμιο (Cr)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε σίδηρο (Fe)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε κάλιο (K)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε νάτριο (Na)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε νικέλιο (Ni)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε μολυμπέντιο (Mo) / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε μαγγάνιο (Mn) / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε χαλκό (Cu)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε κάδμιο (Cd) / (µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε κοβαλτιο (Co)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε ψευδάργυρο (Zn)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Περιεκτικότητα σε βαναδίο (V)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 |