Επισκόπηση

Τα εργοστάσια κατασκευής ημιαγωγών, τα κέντρα νανοτεχνολογίας, τα νανοεργοστάσια και άλλα κέντρα κατασκευής και έρευνας ακρίβειας συνήθως συνδυάζουν καθαρά δωμάτια με ενεργά πλαστά συστήματα εδάφους για να ανταποκριθούν σε περίπλοκες απαιτήσεις εγκαταστάσεων (σωλήνες, καλώδια, σωλήνες αερίου κλπ.) και να διατηρηθούν αυστηρά πρότυπα καθαρισμού. Αυτό το έδαφος δεν είναι κατάλληλο για εξοπλισμό παραγωγής, ανίχνευσης και μέτρησης που είναι ευαίσθητο στις δονήσεις. Το ενεργό έδαφος δεν μπορεί να παρέχει το απαραίτητο ήσυχο δονητικό περιβάλλον για αυτά τα εργαλεία. Το Quiet Island της TMC αντικαθιστά ένα μέρος της ενεργούς περιοχής του εδάφους με ένα "ήσυχο νησί" σταθερό στο κάτω έδαφος, προσφέροντας μια καινοτόμη λύση. Το Quiet Island περιλαμβάνει μια συμβατή κορυφή πλατφόρμας με καθαρό δωμάτιο και μια δομή υποστήριξης ειδική για την εφαρμογή και το χώρο.

Αποζύγιση

Τα βασικά στοιχεία υποστήριξης και η βασική τεχνολογία του Quiet Island** είναι ενσωματωμένα στο ενεργό σύστημα απορρόφησης STACIS III. Αυτό το σύστημα υποστήριξης αδράνειας «σκληρού» τύπου είναι ιδανικό για οποιοδήποτε εργαλείο που είναι ευαίσθητο στις δονήσεις και επιτρέπει σε αυτά τα εργαλεία να λειτουργούν με υψηλά πρότυπα σε θορυβώδη περιβάλλοντα. Το STACIS III είναι συμβατό με αυτοματοποιημένα εργαλεία επεξεργασίας πλάκων, εργαλεία απεικόνισης δέσμης ηλεκτρονικών υψηλής ανάλυσης, εργαλεία φρέζασης δέσμης ιόντων και οποιοδήποτε εργαλείο με παθητικό ή ενεργό εσωτερικό μονωτικό σύστημα (δείτε το λευκό βιβλίο μας για τη στοίβα ενεργών μονωτών σε ενεργούς μονωτές). Επιπλέον, προσφέρει απόδοση μόνωσης δονήσεων σε ένα ευρύ εύρος συχνοτήτων. Και ο σχεδιασμός "σκληρής εγκατάστασης" είναι πολύ σκληρός, έτσι ώστε να μην υπάρχουν προβλήματα σταθερότητας για υψηλότερα και ελαφρύτερα εργαλεία.

Στοιχεία και στηρίγματα

Οι εξαιρετικά ανθεκτικοί σωλήνες που υποστηρίζουν τους δονητές STACIS σχεδιάστηκαν από την έμπειρη ομάδα μηχανικών της TMC και κατασκευάζονται από το εργοστάσιό μας ISO 9001 σύμφωνα με υψηλά πρότυπα και πιστοποιημένες προδιαγραφές συγκόλλησης. Κάθε νησί Quiet έχει σχεδιαστεί προσεκτικά για να ταιριάζει σε διάφορα ψηλά εδάφους, γεωμετρίες και μεγέθη εργαλείων. Με χιλιάδες εγκαταστάσεις σε όλο τον κόσμο που υποστηρίζουν πάνω από 200 διαφορετικά μοντέλα οργάνων, η TMC διαθέτει τη γνώση και την εμπειρία για να σχεδιάσει δομές υποστήριξης που ανταποκρίνονται στις ανάγκες του STACIS και των εγκαταστάσεων σας.

Κυβερή πλατφόρμα

Η πλατφόρμα αποτελείται από ένα διάστρωμα 4 ιντσών (100 mm) πάχους από χάλυβα που σχεδιάστηκε και κατασκευάστηκε από την TMC, όπου η πλατφόρμα είναι σφραγισμένη γύρω από ένα ελαφρύ, μη συμπιέσιμο, απορροφητικό υλικό πυρήνα. Το στρωματικό αποτέλεσμα της κολλήσεως των σκληρών πλάκων και των πυρήνων με εποξική ρητίνη σε έναν άψογο δίσκο από ανοξείδωτο χάλυβα παρέχει εξαιρετικά υψηλή ακαμψία και δομική απώλεια. Η μεγάλη διαμόρφωση και η περιεκτικότητα σε χάλυβα παράγουν πολύ υψηλή συνολική ακαμψία. Η κορυφή και η πλευρά είναι ένα συνεχές, ενσωματωμένο περίβλημα από ανοξείδωτο χάλυβα για να διατηρήσει την καθαρότητα, την ομορφιά και την ακεραιότητα. Η TMC μπορεί να σχεδιάσει και να κατασκευάσει πλατφόρμες ειδικές για την εφαρμογή, όπως περιλαμβάνουν κοπές, ειδικά σχήματα, σταθερές τρύπες και κρεμαστές βίδες.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Πλεονεκτήματα του Quiet Island

Χρησιμοποιεί την ενεργή τεχνολογία πεζοηλεκτρικής απομόνωσης της βιομηχανίας STACIS - TMC **, το σχεδιασμό "σκληρής εγκατάστασης" και το μονωτικό εργαλείο που ξεκινά από 0,6 Hz είναι συμβατό με τον ενσωματωμένο μονωτή.

Ευελιξία σε μορφοποίηση, προσαρμογή και επανατοποθέτηση - Κάθε πλατφόρμα προσαρμόζεται ανάλογα με την εφαρμογή του πελάτη, αλλά σε αντίθεση με τις πλατφόρμες σκυροδέματος, αυτές οι πλατφόρμες μπορούν εύκολα να επαναδιαμορφωθούν εάν αλλάξουν τα εργαλεία ή τα χαρακτηριστικά του εδάφους.

Εμπειρογνωσία - Η TMC διαθέτει μεγάλη εμπειρία σε συνεργασία με κατασκευαστές ημιαγωγών, ερευνητικά ιδρύματα και κατασκευαστές εξαιρετικής ακρίβειας. Γνωρίζουμε τους πελάτες και τις ανάγκες τους. Σχεδιάζουμε και κατασκευάζουμε μόνοι μας.

Απόδοση

Στο Quiet Island ύψους 24 ιντσών, 40 ιντσών x 60 ιντσών, σε τέσσερις θέσεις STACIS,
Μέτρηση της μετάδοσης κάτω από την είσοδο VC-C από το έδαφος

Προδιαγραφές

Προδιαγραφές απόδοσης

Απαιτήσεις σχεδιασμού, μεγέθους, περιβάλλοντος και χρησιμότητας δονητών

Προδιαγραφές ελέγχου DC-2020

Άλλες παράμετροι

ΆλλαΔιαμόρφωση Quiet Island

Μεγάλα όργανα που δεν έχουν προδιαγραφές περιβαλλοντικής δόνησης συνήθως απαιτούν μια άκαμπτη και σταθερή βάση που χωρίζεται από το ενεργό έδαφος. Το σταθερό Quiet Island είναι η ιδανική λύση. Το Rigid Quiet Island διαθέτει την ίδια κορυφή πλατφόρμας υψηλής απόδοσης και μπορεί επίσης να προσαρμοστεί για κάθε ύψος, κάθε γεωμετρία του υπόγειου εδάφους και διάφορα μεγέθη εργαλείων. Η TMC προσφέρει μια σειρά από διαφορετικούς τύπους πυλώνων για να ανταποκριθεί σε διάφορες ανάγκες, δημιουργώντας έτσι μοναδικές, ευέλικτες λύσεις που μπορούν να επαναπροσανατολιστούν και να αναβαθμισθούν ειδικά για τα όργανα και τα εργοστάσια.

Εφαρμογή φωτογραφιών

Εξαιτίας της εγκατάστασης στο Quiet Island μας ® Η πολυπλοκότητα, η ευαισθησία και η αξία του εξοπλισμού στην υπόγεια πλατφόρμα, δεν δημιουργούμε τυποποιημένους καταλόγους για παραγγελίεςΌχι.

Πιστεύουμε ότι κάθε πλατφόρμα πρέπει να προσαρμοστεί για συγκεκριμένες εφαρμογές. Τα προτεινόμενα βήματα παραγγελίας είναι τα εξής:

▪ Πείτε μας ποια συσκευή ή όργανο θέλετε να απομονώσετε. Δεδομένου ότι έχουμε εγκαταστήσει χιλιάδες συσκευές, μπορεί να έχουμε ήδη μια πλατφόρμα σχεδιασμένη για να ανταποκριθεί στις απαιτήσεις της εφαρμογής σας. Επιπλέον, διατηρούμε στενούς δεσμούς με κατασκευαστές βηματομετρητών, ευθυγράμμισης, SEM και άλλων εργαλείων, έτσι ώστε να γνωρίζουμε τις νέες προδιαγραφές των μεγεθών, των σχημάτων, των αλλαγών βάρους και των δονήσεων του εδάφους.

▪ Εναλλακτικά, μπορεί να θέλετε μια πλατφόρμα που είναι κατάλληλη για ένα ενεργό σύστημα πλέγματος εδάφους. Οι πελάτες συνήθως επιλέγουν πλατφόρμες 47 x 47 ιντσών (1.190 x 1.190 mm) για να αντικαταστήσουν τα ζευγάριστα πλακάκια.

▪ Πείτε μας ότι το έδαφος δραστηριότητάς σας είναι υψηλότερο από το στερεό έδαφος.

▪ Παρακαλούμε περιγράψτε ή παρέχετε μια εικόνα που δείχνει οποιοδήποτε μοτίβο τρύπας στη γεωμετρία του υπόγειου εδάφους ή των ατσάλινων δοκών / πλέγματος.

▪ Παρακαλούμε να μας παρέχετε δεδομένα δονήσεων του εδάφους ή να συζητήσετε μαζί μας πώς να προγραμματίσετε τη μέτρηση αυτών των δεδομένων.

▪ Λάβετε υπόψη την ευαισθησία των δονήσεων του οργανισμού. Ο σκληρός, μη συντονιστικός πυλώνας μας έχει σχεδιαστεί για να παρέχει επαρκή υποστήριξη σε πολλά εργαλεία. Οι πιο ευαίσθητες εφαρμογές θα απαιτούν αέρα ή πίεσοηλεκτρική υποστήριξη