产品简介 

常温催化型气体纯化系统

专用于大宗气体纯化,能为你带来最低成本和高质量气体纯化解决方案。具有结构紧凑、低成本运行和可靠性高的优点，能有效地纯化含有各种杂质的大宗气体达到超纯度的气体要求，并且兼具最小的压降和卓越的连续工作能力。整个系统采用撬装设计，其应用广泛，可在不同尺寸要求的现场和各类领域应用。

产品性能 

◎适合与不低于99.99%纯度的原气配合使用

◎此产品为双式结构，一组工作，另一组再生备用

◎气体纯化后水、氧等各种杂质含量＜10ppb

◎电化学抛光316（L）不锈钢◎内置高效过滤器

◎最佳的处理周期设计,吸附剂装填量大，使用寿命延长

◎此产品整体撬装设计，布局紧凑,占地面积小

产品应用 

◎保护气纯化：钢铁、石化、机械行业

◎高纯单晶硅、晶片外延、大规模集成电路、光电产品生产等电子工业所需气体初级纯化。

◎半导体工艺设备：CVD、MOCVD、HVPE、扩散炉等

◎大宗气体纯化

系统参数