Συστήματα καθαρισμού χαμηλής θερμοκρασίας - υψηλής θερμοκρασίας αφαίρεσης αζώτου

Αυτό το σύστημα καθαρισμού χρησιμοποιεί σπιτικό καταλύτη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας, αυτός ο καταλύτης έχει μεγάλη διάρκεια ζωής, υψηλό βάθος καθαρισμού και ισχυρή δυναμική στιγμιαίας διακυμάνωσης του αερίου αντιύλων. Χρησιμοποιώντας τη διαδικασία φυσικής προσρόφησης και χημικής αντίδρασης, αφαιρέστε πρώτα μεγάλες ποσότητες ακαθαρσίας H2O, O2, CO, CO2 από τα αδρανή αέρια και το υδρογόνο (H2) σε θερμοκρασία δωματίου και στη συνέχεια αφαιρέστε τις υπολειμμένες ακαθαρσίες και το N2 μέσω πύργου υψηλής θερμοκρασίας για να διαιρέσετε τις ακαθαρσίες καθαρού αερίου εξαγωγής κάτω από 1 ppb. Αυτή η συσκευή έχει μεγάλη διάρκεια ζωής, εύκολη λειτουργία και άλλα χαρακτηριστικά.

Απόδοση προϊόντος

Κατάλληλο για χρήση με ακατέργαστο αέριο καθαρότητας όχι λιγότερης από 99,999%.

◎ Αυτό το προϊόν είναι διπλή δομή, ένα σύνολο εργασίας, ένα άλλο σύνολο αναγεννητικών εφεδρικών

* Υψηλό βάθος καθαρισμού, εξαγωγή ποικίλων περιεκτικότητας ακαθαρσίας <1ppb

Ηλεκτροχημικό γυαλισμό 316 (L) ανοξείδωτο χάλυβα

Ενσωματωμένο φίλτρο υψηλής απόδοσης 0,003 μm

◎ Αυτός ο καθαριστής είναι εξοπλισμένος με προκαθαριστικό πύργο για να αφαιρέσει πολλές ακαθαρσίες πριν από τον πολύτιμο πύργο αναρρόφησης, έτσι ώστε να παρατείνει τη διάρκεια ζωής του πολύτιμου αναρρόφησης

Εφαρμογές προϊόντων

◎ Καθαρισμός τερματικών αερίων ηλεκτρονικής βιομηχανίας υψηλής καθαρότητας μονοκρυσταλλικού πυριτίου, επέκτασης τσιπ, μαζικού ολοκληρωμένου κυκλώματος και παραγωγής φωτοηλεκτρικών προϊόντων

Εξοπλισμός διεργασίας ημιαγωγών: CVD, MOCVD, HVPE, φούρνοι διάδοσης κλπ.

• Καθαρισμός αερίων

Παράμετροι συστήματος